Parylene，涂敷设备
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无尘室应用Parylene沉积系统
发布时间：2008-08-15 12:44:12
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SCS PDS 2035CR: 无尘室应用Parylene沉积系统
设备设计为可在纯净车间使用的涂敷设备，具有双访问通道的沉积腔室，因此部件可以从
无尘室内放入，而机器主体
和一些微粒源则在无尘室外。
在你需要对一些特殊的器件
进行超薄的 Parylene涂敷
时，系统会给你最清洁和最
大的无尘室使用空间。
